Вакуумное нанесение тонких пленок

Main
Technique - Experiments, Instruments & Measurements
Вакуумное нанесение тонких пленок

Вакуумное нанесение тонких пленок

Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера

0 / 0

0 comments

Bạn thích cuốn sách này tới mức nào?

Chất lượng của file scan thế nào?

Xin download sách để đánh giá chất lượng sách

Chất lượng của file tải xuống thế nào?

В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.

Thể loại:

Technique - Experiments, Instruments & Measurements

Năm:

1967

Nhà xuát bản:

Энергия

Ngôn ngữ:

russian

Trang:

157

File:

DJVU, 4.62 MB